●Heリーク試験装置
質量分析形
最小検出感度:1×10-10Pa・m/s |
●グロスリーク試験装置
フロロカーボン指示液
温度:125℃
拡大鏡:30倍 Max |
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●赤外線リフロー装置
熱風ブロア方式
プリヒート部エア温度:0〜250℃
リフロー部エア温度:0〜250℃ |
●塩水噴霧試験装置
塩水:35℃、ISO方式
試験槽容量:60リットル |
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●蛍光X線膜厚計
テーブル移動量:X=220mm、Y=150mm、Z=50mm
コリメータ:φ0.05、φ0.1、φ0.3mm
測定精度:約±10%
●投影機
投影レンズ:×10、20、50
十字動範囲:左右=225mm、前後=100mm
精度:±2μm
被検物の最大高さ:250mm
最大重量:30Kg |
●非接触深度測定機
Z方向(高・低)
測定範囲:10mm
最小表示:0.001mm
精度:0.002mm
拡大倍率:×50、200、400、1000倍
●表面粗さ形状測定機
測定倍率:10万倍以下
分解能:0.01μm(10万倍) |